《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》26日訊，日本中央硝子開(kāi)發(fā)出了利用含有硅和碳的溶液來(lái)制造碳化硅基板的技術(shù)。該技術(shù)更容易增大基板尺寸以及提高品質(zhì)，可使基板的制造成本降低1成以上，不合格率也會(huì)大幅降低。中央硝子運(yùn)用該技術(shù)成功量產(chǎn)出了6英寸口徑基板。 (日經(jīng))