2024年06月18日 14:28:23
三井化學(xué)將量產(chǎn)光刻薄膜新品 支持阿斯麥新機(jī)
《科創(chuàng)板日報》18日訊,日本三井化學(xué)日前宣布,將開始量產(chǎn)半導(dǎo)體最尖端光刻機(jī)的零部件產(chǎn)品(保護(hù)半導(dǎo)體電路原版的薄膜材料“Pellicle”的新一代產(chǎn)品),計劃在日本山口縣巖國大竹工廠內(nèi)設(shè)置生產(chǎn)線,計劃年產(chǎn)能力為5000張,生產(chǎn)線預(yù)計于2025年12月完工??芍С趾商m阿斯麥(ASML)將推出的下一代光刻機(jī)。
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